一、簡介

半導體芯片制造工藝需要在千級/百級無塵室內進行，FAB無塵室中空氣中顆粒數量需要管控。KC-31為自帶鋰電池的便攜式氣體顆粒計數儀，具有大流量，測試速度塊的優點。

二、KC-31主要技術參數
測試原理：光散射法

測量最小粒徑：0.3µm（KC-24為0.1µm）
粒徑范圍：6 channels: ≥0.3µm, ≥0.5µm, ≥1.0µm, ≥2.0µm, ≥5.0µm, ≥10.0µm 
液體流速: 28.3L / min（KC-32為50L/min）
顆粒濃度：28,000,000 ea/m3 (coincidence loss 10%)