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一、簡介

光刻膠中顆粒數量需要管控。光刻膠溶液中的顆粒數量直接決定了圖案的加工質量和后續器件的良率。液體顆粒度儀作為電子材料開發的基本設備，用于在制造半導體、顯示面板過程中保持高清潔度的液體粒子計數器。可檢測光阻產品、SOG 等產品中小至0.07um 的顆粒。適應于光刻膠材料開發和來料檢測。

二、KS-41A主要技術參數
測試方式：Off-line 
測量最小粒徑：0.15um（KS-41B為0.1um）
粒徑范圍：0.15um-0.5um
出廠設定通道:0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um 
可自行擴充至10Channels 
液體流速: 10mL / min
光源：鐳射二極管（波長 830nm,輸出功率:200mW） 
可測試粒子濃度：1200 顆/mL（0.15um 的誤差值在 5%以內）