硅刻蝕探針應用于獲得形貌像和對材質敏感的反差像。
CSC12 針尖參數：
| 懸臂材料 | N-型硅（P摻雜） |
硅表面有非導電的固有氧化層（厚度1.4nm）
CSC12 懸臂參數：
| | A | B | C | D | E | F |
| 懸臂長度, 1±5 µm | 110 | 90 | 130 | 300 | 350 | 250 |
| 懸臂寬度, w±3 µm | 35 | 35 | 35 | 35 | 35 | 35 |
| 力常數, N/m | 0.95 | 1.75 | 0.60 | 0.05 | 0.03 | 0.08 |
| 共振頻率, kHz | 28 | 21 | 41 | 14 | 10 | 20 |
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