硅刻蝕探針應用于獲得形貌像和對材質敏感的反差像。
NSC36/AlBS 針尖參數.
| 通常針尖半徑, nm | <10 |
| 針度, ° | 40 |
| 針尖總高度, µm | 20 - 25 |
| 探針材料 | N型硅（摻磷） |
| 探針總體阻抗 | 0.01～0.05歐姆•厘米 |
離針尖zui后200 nm處的錐角度可能小于40°
硅表面有不導電的厚度為1.4nm的自然氧化薄膜層
硅表面有不導電的厚度為1.4nm的自然氧化薄膜層
NSC36/AlBS 懸臂參數.
| | A | B | C |
| 懸臂長度, 1±5 µm | 110 | 90 | 130 |
| 懸臂寬度, w±3 µm | 35 | 35 | 35 |
| 探針半徑, nm | 10 | 10 | 10 |
| 力常數, N/m | 0.95 | 1.75 | 0.60 |
| 共振頻率, kHz | 105 | 155 | 170 |
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