有兩種尖刺材料的選擇：類金剛石（HiRes-C） 或鎢（HiRes-W）
DP14/Hi’RES/AlBS 針尖參數.
| 尖刺材料 | 類金剛石 | 鎢 |
| 尖刺半徑 | 小于1nm | 1nm （范圍0.5～3 nm） |
| 刺高度 | 100 - 500 nm | 100 - 500 nm |
離針尖zui后200 nm處的錐角度可能小于40°
硅表面有不導電的厚度為1.4nm的自然氧化薄膜層
硅表面有不導電的厚度為1.4nm的自然氧化薄膜層
DP14/Hi’RES/AlBS 懸臂參數.
| 懸臂長度, 1±5 µm | 125 |
| 懸臂寬度, w±3 µm | 35 |
| 探針半徑, nm | 1 |
| 力常數, N/m | 5.7 |
| 共振頻率, kHz | 160 |
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