硅刻蝕探針應(yīng)用于獲得形貌像和對材質(zhì)敏感的反差像。
CSC37/AlBS 針尖參數(shù).
| 通常針尖半徑, nm | <10 |
| 針度, ° | 40 |
| 針尖總高度, µm | 20 - 25 |
| 探針材料 | N型硅(摻磷) |
| 探針總體阻抗 | 0.01~0.05歐姆•厘米 |
離針尖zui后200 nm處的錐角度可能小于40°
硅表面有不導(dǎo)電的厚度為1.4nm的自然氧化薄膜層
硅表面有不導(dǎo)電的厚度為1.4nm的自然氧化薄膜層
CSC37/AlBS 懸臂參數(shù).
| | A | B | C |
| 懸臂長度, 1±5 µm | 300 | 350 | 250 |
| 懸臂寬度, w±3 µm | 35 | 35 | 35 |
| 探針半徑, nm | 10 | 10 | 10 |
| 力常數(shù), N/m | 0.35 | 0.3 | 0.65 |
| 共振頻率, kHz | 28 | 21 | 41 |











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