硅刻蝕探針應用于獲得形貌像和對材質敏感的反差像。
NSC12 針尖參數：
| 懸臂材料 | N-型硅（P摻雜） |
硅表面有非導電的固有氧化層（厚度1.4nm）
NSC12 懸臂參數：
| | A | B | C | D | E | F |
| 懸臂長度, 1±5 µm | 110 | 90 | 130 | 300 | 350 | 250 |
| 懸臂寬度, w±3 µm | 35 | 35 | 35 | 35 | 35 | 35 |
| 力常數, N/m | 7.5 | 14 | 4.5 | 0.35 | 0.30 | 0.65 |
| 共振頻率, kHz | 210 | 315 | 150 | 105 | 155 | 170 |
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