| 通常針尖半徑, nm | <10 |
| 針度, ° | 40 |
| 針尖總高度, µm | 20 - 25 |
| 探針材料 | N型硅(摻磷) |
| 探針總體阻抗 | 0.01~0.06歐姆•厘米 |
硅表面有不導(dǎo)電的厚度為1.4nm的自然氧化薄膜層
| 懸臂長度, 1±5 µm | 230 |
| 懸臂寬度, w±3 µm | 40 |
| 探針半徑, nm | 90 |
| 力常數(shù), N/m | 3.5 |
| 共振頻率, kHz | 75 |












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