光刻機一般根據操作的簡便性分為三種，手動、半自動、全自動
A 手動：指的是對準的調節方式，是通過手調旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來完成對準，對準精度可想而知不高了；
B 半自動：指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行調諧；
C 自動： 指的是 從基板的上載，曝光時長和循環都是通過程序控制，自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需要。
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光刻機一般根據操作的簡便性分為三種，手動、半自動、全自動A手動：指的是對準的調節方式，是通過手調旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來完成對準，對準精度可想而知不高了；B半自動：指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行調諧；C自動：指的是從基板的上載，曝光時長和循環都是通過程序控制，自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需要
光刻機一般根據操作的簡便性分為三種，手動、半自動、全自動
A 手動：指的是對準的調節方式，是通過手調旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來完成對準，對準精度可想而知不高了；
B 半自動：指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行調諧；
C 自動： 指的是 從基板的上載，曝光時長和循環都是通過程序控制，自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需要。
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