CAMTEK 自動光學檢驗 2D檢測設備 Eagle-I
亞科電子的合作伙伴CAMTEK公司總部位于以色列,是一家致力于自動光學檢驗的設備商。CAMTEK主要的檢測領域包括:Wafer、PCB、HDI。 Wafter 檢測設備主要用于檢測Bump, RDL, Pad, UBM, Via,化合物CD關鍵尺寸等。
CAMTEK產品主要分為半導體和PCB(PCB制版過程中及成品的AOI測試)兩大部分。他們半導體和PCB是分開的。半導體分為前道制程(磨拋后劃傷及顯圖形化等的AOI測試,型號為GANNET)和芯片成品后劃片前和后的AOI測試(型號為FALCON系類和CONNOR系類)。
一、檢測原理:
他們的檢測原理與MVP有點類似,都是通過工業相機進行圖像采集,然后用影像處理軟件對圖像進行分析,對于不同的檢測應用,他們的軟件中有的算法來做判斷。所以他們的產品優勢在于影像處理的硬件和軟件方面。
二、主要應用領域:
CMOS傳感器陣列,LED,MEMS,TSV,mBUMP等。
產品介紹
1. Eagle-I
Eagle是大量產的2D檢測設備,采用了CAMTEK進的檢測系統。
| 大量產的2D檢測適用于部分前道工藝: ? 電鍍bump前后檢測; ? 電測針印大小的檢測; ? OQC檢測; ? 劃片后的檢測等; 同時又適用于器件的檢測: ? CMOS 圖像傳感器; ? MEMS特殊結構監測; ? LED良率監測等。 |
2. Eagle-AP(3D/2D)
Eagle是大量產的2D檢測設備,采用了CAMTEK進的檢測系統。
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? 檢測小到2um的bump; ? 量測單片5000萬點的bump; ? 量測bump尺寸和間距; ? RDL后的線寬線距; ? TSV填孔后的尺寸; ? 2D檢測精度,3D檢測高度精度(量測范圍2~100um)。 |
1. EagleT-i
EagleT-i是AOI市場上2D檢測速度快的設備之一,其中囊括了CAMTEK進的機構、新的鏡頭、速的傳輸信道。
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? 基于CAD圖層檢測; ? 的圖像銳化功能; ? 可以檢測RDL后小到2um線寬; ? 兼容檢測方片、翹曲片; ? 可以檢測小到的表面缺陷; ? 多重放大倍數,提高檢測能力。 |
















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