納米壓印光刻(NIL)
EVG是納米壓印光刻(NIL)設備和集成工藝的市場供應商。EVG從15年前的研究中并掌握了NIL,并實現了從2英寸化合物半導體晶圓到300 mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產。NIL是產生納米尺度分辨率圖案的有前途且成本效益的工藝,可用于生物MEMS,微流體,電子學以及近各種衍射光學元件的各種商業應用。
UV-NIL /SmartNIL®系統
EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻(UV-NIL)提供產品線,包括不同的單步壓印系統,大面積壓印機以及用于母版制作的分步重復系統。
熱壓花系統
EVGroup的一系列熱壓花系統基于該公司市場的晶圓鍵合技術。熱壓印是一種具有很高復制精度的經濟且靈活的制造技術。
















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