納米壓印光刻（NIL）

EVG是納米壓印光刻（NIL）設備和集成工藝的市場供應商。EVG從15年前的研究中并掌握了NIL，并實現了從2英寸化合物半導體晶圓到300 mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產。NIL是產生納米尺度分辨率圖案的有前途且成本效益的工藝，可用于生物MEMS，微流體，電子學以及近各種衍射光學元件的各種商業應用。

UV-NIL /SmartNIL®系統

EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供產品線，包括不同的單步壓印系統，大面積壓印機以及用于母版制作的分步重復系統。

熱壓花系統

EVGroup的一系列熱壓花系統基于該公司市場的晶圓鍵合技術。熱壓印是一種具有很高復制精度的經濟且靈活的制造技術。