技術(shù)數(shù)據(jù):
曝光源:汞光源/紫外線LED光源
的對齊功能:手動對準(zhǔn)/原位對準(zhǔn)驗(yàn)證 ;自動對齊;動態(tài)對齊/自動邊緣對齊
對準(zhǔn)偏移校正算法:通量;
全自動:批生產(chǎn)量:每小時(shí)180片
全自動:吞吐量對齊:每小時(shí)140片晶圓
晶圓直徑(基板尺寸):高達(dá)200毫米
對齊方式:上側(cè)對齊:≤± µm;底側(cè)對齊:≤±1,0 µm;紅外校準(zhǔn):≤±2,0 µm /基板材料,具體取決于; 鍵對準(zhǔn):≤±2,0 µm;NIL對準(zhǔn):≤± µm
曝光設(shè)定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式
楔形補(bǔ)償:全自動-SW控制;
曝光選項(xiàng):間隔暴露/洪水暴露/扇區(qū)暴露
系統(tǒng)控制,操作系統(tǒng):Windows;文件共享和備份解決方案/制配方和參數(shù);多語言用戶GUI和支持:CN,DE,F(xiàn)R,IT,JP,KR;實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程訪問,診斷和故障排除
工業(yè)自動化功能:盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理
納米壓印光刻技術(shù):SmartNIL®;
















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