Bruker三維光學表面輪廓儀-ContourGT-X3/X8
布魯克(Bruker) 是表面測量和檢測技術的,服務于科研和生產ling域。新一代白光干涉儀ContourGT系列結合了的64位多核操作和分析處理軟件,技術白光干涉儀(WLI)硬件和的操作簡易性,是歷年來的3D光學表面輪廓儀系統。該系統擁有超大視野內亞埃級至毫米級的垂直計量范圍,樣品安裝靈活,且具有高的測量重復性。ContourGT系列是當今生產研究和質量控制應用中,使用和直觀的3D表面計量平臺。
應用:
對關鍵尺寸的測量十分便捷,應用于科研以及半導體行業;LED行業、太陽能行業、觸摸屏行業及數據存儲行業等,提供非接觸式測量方案,樣品從小至微米級別的微機電器件(MEMS、化合物半導體等),大到整個引擎部件,都可以獲得表面形貌、粗糙度、三維輪廓等準數據。
原理:
利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關的其他物理量。測量度決定于測量光程差的度,干涉條紋每移動一個條紋間距,光程差就改變一個波長(~10-7米),所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的,其測量度之高是任何其他測量
特征:
◆ 高的垂直分辨率,*的測量性能;
l ~200倍的放大倍率;
l 任何倍率下亞埃級至毫米級垂直測量量程;
l 高分辨率攝像頭;













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