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HERCULES® NIL Fully Integrated SmartNIL® UV-NIL Systems

HERCULES®NIL 集成的SmartNIL®UV-NIL系統

EVG的HERCULES®NIL產品系列：

HERCULES®NIL集成的SmartNIL®UV-NIL系統，200 mm

HERCULES®NIL模塊化和集成式SmartNIL®UV-NIL系統，300 mm

HERCULES®NIL集成的SmartNIL®UV-NIL系統，200 mm；集成的納米壓印光刻解決方案，適用于大批量生產，具有EVGSmartNIL®壓印技術

HERCULES NIL是集成的UV納米壓印光刻跟蹤解決方案，適用于200 mm的晶圓，是EVG的NIL產品組合的新成員。HERCULES NIL基于模塊化平臺，將EVGSmartNIL壓印技術與清潔，抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟相結合。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務"，將裸露的晶圓裝載到工具中，然后將經過處理的納米結構晶圓退回。

為了優化工藝鏈，HERCULES NIL中包括多次使用的軟郵票的制造，這是大批量生產的基石，不需要額外的壓印郵票制造設備。作為一項特殊功能，該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環境，以確保的缺陷率和質量的原版復制。

通過為大批量生產提供NIL解決方案，HERCULES NIL增強了EVG在積NIL設備解決方案中的。 *根據ISO 14644

特征

批量生產小40 nm *或更小的結構

結合了預處理（清潔/涂覆/烘烤/冷卻）和SmartNIL®

體積驗證的壓印技術，具有復制保真度

全自動壓印和受控的低力分離，可程度地重復使用工作印章

包括工作印章制造能力

高功率光源，固化時間快

優化的模塊化平臺可實現高吞吐量

*分辨率取決于過程和模板

HERCULES®NIL模塊化和集成式SmartNIL®UV-NIL系統，300 mm

包含EVGSmartNIL®技術的模塊化平臺，可支持AR / VR，3D傳感器，光子和生物技術

生產應用

EVG的HERCULES NIL 300 mm是一個集成的跟蹤系統，在單個平臺上將清潔，抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟與EVG的專有SmartNIL大面積納米壓印光刻（NIL）工藝結合在一起，用于直徑為300 mm的晶片。這是個基于EVG的全模塊化設備平臺和可交換模塊的NIL系統，可為客戶提供的自由度來配置他們的系統，以地滿足其生產需求，包括200 mm和300 mm晶圓的橋接功能。

HERCULES NIL 300 mm提供了市場上進的納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統支持各種設備和應用程序的生產，包括用于增強/虛擬現實（AR / VR）頭戴式耳機的光學設備，3D傳感器，生物醫學設備，納米光子學和等離激元學。

特征

全自動UV-NIL壓印和低力剝離：多300毫米的基材

模塊化的平臺，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區域烙印覆蓋

批量生產小40 nm或更小的結構

支持各種結構尺寸和形狀，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過程和模板

技術數據

晶圓直徑（基板尺寸）100至200毫米/ 200和300毫米

解析度≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：SmartNIL®

曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm2

對準：≤±3微米

自動分離：支持的

前處理：提供所有預處理模塊

迷你環境和氣候控制：可選的

工作印章制作：支持的