這套工業(yè)級飛秒激光微納加工系統(tǒng)專業(yè)為工業(yè)激光微加工研究和生產(chǎn)而研發(fā)的成熟的飛秒激光微加工系統(tǒng)，可用于飛秒激光打孔,飛秒激光蝕刻,飛秒激光多光子聚合等微納加工應(yīng)用,具有非常的可靠性和超高的加工速度。
這套飛秒激光微納加工系統(tǒng)采用了而成熟的飛秒激光器和飛秒激光放大器。飛秒激光器由于激光脈沖超短，提供了常見激光無以倫比的激光功率密度，其加工效果遠遠超過納秒和皮秒激光。光束所到之處能夠瞬間將材料汽化，由于激光脈沖超短，激光能量無法在如此短的時間內(nèi)擴散到周圍材料中，所以對加工區(qū)域周圍影響微乎其微,是一種冷加工技術(shù),加工效果堪稱。
這套采用高達10W的Yb:KGW(1030nm)飛秒激光器作為激光光源,重復(fù)頻率在1--1000KHz范圍內(nèi)可調(diào)，結(jié)合的精密掃描振鏡,提供超高的微加工速度。系統(tǒng)配備Arotech公司高分辨率的定位平臺，并同步激光光束掃描振鏡和脈沖選擇器, 在空間，時間和能量上提供高精度控制。從而提供超高難度的加工能力，并達到亞微米精度的分辨率和重復(fù)性。配備機械視圖系統(tǒng),使用高分辨率的相機監(jiān)控加工過程。
飛秒激光器激光光源
這套使用了貼別為微加工而設(shè)計的飛秒激光器，它比市場上出售的商業(yè)飛秒激光器具有更多優(yōu)勢。該飛秒激光放大器具有更高的穩(wěn)定性和可靠性，達到工業(yè)使用的標(biāo)準(zhǔn)，飛秒激光放大器具有更短的脈沖(振動器<80fs， 放大器<280fs)，飛秒激光器具有更高的平均功率（振蕩器高達2W, 放大器為6W），而且激光重復(fù)頻率可調(diào)，計算機監(jiān)控并控制激光。
| 激光放大器參數(shù) | 波長 | 1030nm |
| 平均功率 | 6W | |
| 重復(fù)頻率 | 1-1000KHz可調(diào) | |
| 脈寬 | <280fs-10ps計算機控制 | |
| zui大脈沖能量 | 1mJ | |
| 輸出穩(wěn)定性 | <1% | |
| 光束質(zhì)量M2 | <2 | |
| 脈沖選擇器 | ||
| 多種頻率選擇 | SH, TH,FH可選 | |
| 激光振蕩器參數(shù) | 功率 | >1W |
| 脈寬 | <80fs | |
| 重復(fù)頻率 | 76MHz |
特色
超高加工速度：高達350000像素/
飛秒微細加工模式下具有zui小的熱影響區(qū)
工作面積高達：150x150mm
使用高性能振鏡控制精密激光光束
激光脈沖數(shù)可控（1-350KHz)飛
涉及技術(shù)
飛秒激光鉆孔，飛秒激光切割，飛秒激光打孔;
飛秒激光燒蝕,飛秒激光蝕刻,飛秒激光雕刻;
2.5D銑，自定義模型劃線,
表面微納結(jié)構(gòu)價格
改變材料的折射率,飛秒激光材料改性
飛秒激光三維多光子聚合;
光學(xué)微操作……
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應(yīng)用
MEMS制造掩膜制造和修理微片修復(fù) 燃料電池材料制造LIBWE,醫(yī)療應(yīng)用激
光誘導(dǎo)擴散微光學(xué) 光子晶體 衍射光學(xué)元件制造
波導(dǎo)和微透鏡的制備
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