這套飛秒激光非晶硅激光刻膜機(jī)是特別為太陽能產(chǎn)業(yè)光伏工業(yè)而設(shè)計的整套激光硅片刻膜機(jī)。可用于光伏電池激光加工,去除氮化硅膜氮化硅膜蝕刻,晶圓邊緣隔離，有可以當(dāng)作硅片激光刻膜機(jī),激光劃片機(jī)使用。
這套非晶硅電池飛秒激光刻膜機(jī)采用zui為的紫外飛秒激光和紅外納秒激光，可以同時提供如下四合一服務(wù)：
— SiNx/SiO2去除,去除二氧化硅,去除氮化硅 邊緣隔離晶圓 背接觸激光燒結(jié)和激光刻槽 激光打標(biāo)
其中紫外飛秒激光用于SiNx/SiO2的選擇性燒蝕或切除(氮化硅膜蝕刻),配備的紫外飛秒激光可以非常精密地剝蝕SiNx(去除氮化硅膜),同時在Si層的直接或熱效應(yīng)降低到zui低，從而增加載流子壽命（少子壽命）,避免微裂紋。而配備的1064nm的納秒激光工作非常穩(wěn)定而快速，將用于晶片的快速激光邊緣隔離，激光打標(biāo)和激光燒結(jié)。
該非晶硅激光刻膜機(jī)配備自動處理和掃描系統(tǒng)，支持5’’和6’’直徑的硅晶片加工。同時配備機(jī)械視覺系統(tǒng)以隨時調(diào)節(jié)激光束掃描,保持高度重復(fù)性和可靠性。
該非晶硅電池激光刻膜機(jī)配1級激光安裝防護(hù)裝置和灰塵消除系統(tǒng)，營造無塵加工環(huán)境，以保證飛秒激光的精密燒蝕和熱效應(yīng)影響的zui小化。
非晶硅電池激光刻膜機(jī)特色
· 配備的激光器處理能力高達(dá)800個晶片/小時或350000px/s
· 加工量為425個晶片/小時,優(yōu)化后可用于2.5MW/a產(chǎn)品的生產(chǎn)線
· 適用5'’和6''硅晶片 紫外飛秒激光和紅外納秒激光光源
· 機(jī)械視圖系統(tǒng)可調(diào)節(jié)激光掃描場
· 精密激光光束定位
· 激光劃線激光剝蝕激光熔化
非晶硅電池激光刻膜機(jī)成功經(jīng)歷
· 為用戶提供了無銀敷金屬技術(shù)生產(chǎn)太陽能電池
· 成功地裝配到生產(chǎn)能力高達(dá)2.5MWp/a的生產(chǎn)線上。
這 套非晶硅電池激光刻膜機(jī)使用飛秒激光對晶圓wafer的發(fā)射端進(jìn)行介電層（SiNx)的選擇性移除。SiNx厚度為50-90nm,覆蓋發(fā)射端，必須精確移除而不傷害發(fā)射 層。一種應(yīng)用是消蝕SiNx層的同時，也產(chǎn)生bus bars和fingers開口，下一步,這些開口將被鎳覆蓋，這樣就形成了高質(zhì)量的前接觸。這套非晶硅激光刻膜機(jī)系統(tǒng)使用振鏡掃描器（Galvanometer scanner)控制激光束切割發(fā)射端，的機(jī)械視圖功能能夠探測晶圓位置。
飛秒激光刻膜機(jī)
產(chǎn)品二維碼| 參 考 價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 產(chǎn)品型號：
- 品牌：
- 產(chǎn)品類別：光學(xué)測量儀
- 所在地：上海市
產(chǎn)品標(biāo)簽:
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