鑫鐳真空專業加工制作、翻新低溫15K ARRAY(活性炭吸附單元/冷傘) 采用進口原廠活性炭和超低溫粘接劑制作,支架經熱鍍鎳工藝防止腐蝕,經長時間研發和反復滿負載運行測試,各項性能均達到原廠技術標準。現已在半導體制程、離子注入、真空鍍膜等多種工藝使用,在ULVAC、CTI、SUMITOMO、等多個品牌的冷泵上使用均達到原廠標準,承若一般鍍膜工藝質保2年,高溫爐工藝和半導體制程質保一年。
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鑫鐳真空專業加工制作、翻新低溫15KARRAY(活性炭吸附單元/冷傘)采用進口原廠活性炭和超低溫粘接劑制作,支架經熱鍍鎳工藝防止腐蝕,經長時間研發和反復滿負載運行測試,各項性能均達到原廠技術標準
鑫鐳真空專業加工制作、翻新低溫15K ARRAY(活性炭吸附單元/冷傘) 采用進口原廠活性炭和超低溫粘接劑制作,支架經熱鍍鎳工藝防止腐蝕,經長時間研發和反復滿負載運行測試,各項性能均達到原廠技術標準。現已在半導體制程、離子注入、真空鍍膜等多種工藝使用,在ULVAC、CTI、SUMITOMO、等多個品牌的冷泵上使用均達到原廠標準,承若一般鍍膜工藝質保2年,高溫爐工藝和半導體制程質保一年。
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