產品介紹

SRT-300臺式電阻熱蒸發PVD系統，采用渦輪分子泵真空組件在高真空環境沉積薄膜。配備三組蒸發舟及精密沉積控制系統，非常適合科研實驗或新材料研發使用，適用于快速多層金屬或合金沉積工藝。

產品展示

內部展示

主要配置

主要功能配置：
全量程真空計。
三組獨立熱蒸發舟，不會導致鍍材互相污染。
兩套用于多層薄膜蒸發沉積的直流電源。
可選配Co蒸發可沉積合金膜（可選）
石英晶體監測系統用于實時厚度測量（1 nm精度）
"觸摸屏可控制沉積過程和快速數據輸入
用戶友好PLC軟件系統，可以通過網絡更新
配備旋轉樣品架（可選）
2英寸500°C基板加熱器（可選）