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最主要配置
圓筒型真空室尺寸Ф180mm x180mm
50L/s渦輪分子泵+雙級旋片泵組合
全量程B-A復合真空規
三組1英寸磁控濺射靶
公轉陽級平面基片掛架
2DC+1RF濺射電源
手動閘板閥
精密氣體質量流量計(選配)
基板600°C短波紅外可調加熱器(選配)
手動腔體上蓋開啟裝置
自動PLC控制系統可提供手動調試模式
英寸工控觸控屏,操作簡單易用
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產品展示方案展示主要配置工藝展示產品展示最主要配置圓筒型真空室尺寸Ф180mmx180mm50L/s渦輪分子泵+雙級旋片泵組合全量程B-A復合真空規三組1英寸磁控濺射靶公轉陽級平面基片掛架2DC+1RF濺射電源手動閘板閥精密氣體質量流量計(選配)基板600°C短波紅外可調加熱器(選配)手動腔體上蓋開啟裝置自動PLC控制系統可提供手動調試模式7.5英寸工控觸控屏
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圓筒型真空室尺寸Ф180mm x180mm
50L/s渦輪分子泵+雙級旋片泵組合
全量程B-A復合真空規
三組1英寸磁控濺射靶
公轉陽級平面基片掛架
2DC+1RF濺射電源
手動閘板閥
精密氣體質量流量計(選配)
基板600°C短波紅外可調加熱器(選配)
手動腔體上蓋開啟裝置
自動PLC控制系統可提供手動調試模式
英寸工控觸控屏,操作簡單易用
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