ATS100 機械軸承，絲杠驅動線性載物臺
ATS100 載物臺采用箱式設計，具有精密研磨滾珠絲杠和直線運動導軌軸承，可提供出色的剛度和長期穩定性。緊湊的設計使其能夠輕松地將 ATS100 載物臺集成到狹小空間中，如龍門橋、機器外殼和真空室。ATS100 載物臺由一系列帶集成反饋編碼器的無刷旋轉電機驅動，為您的工藝提供平穩、超精確的運動性能。此外，ATS100 載物臺還具有防止污染影響的功能，可確保高度可靠運行的長使用壽命。

設計特點
提供亞微米定位精度和雙向重復性，可達 0.3 μm
采用薄型、緊湊的外形，可輕松集成
提供出色的剛度和穩定性
通過一體式波紋管護銷防止污染
支持 200 mm 的行程長度
提供真空兼容配置
主要應用
ATS100 載物臺是各種精密工業和實驗室應用的理想選擇，包括：

測量、檢查和顯微鏡
半導體晶圓測試和制造
激光微加工
精密點膠
光學操作和處理
*制造和精密微加工
龍門 Z 軸應用

突出的結構特點
ATS100 系列載物臺由特殊的鑄造鋁合金加工而成，具有高強度重量比和長期穩定性。底座采用箱形設計，可提供出色的剛度和穩定性。

ATS100 系列載物臺采用預加載的精密研磨滾珠絲杠以消除間隙，其螺母具有雨刷器，可防止污染并在載物臺的整個使用壽命期間保持高精度。高品質、預加載的雙聯軸承用于消除軸向游隙。

所有 ATS100 系列載物臺均采用直線運動導軌 （LMG） 軸承，以提供高負載能力和高剛度。LMG 設計提供了一個緊湊的載物臺，在整個行程中具有連續的滑塊支撐和良好的懸臂負載能力。軸承卡車上的整體雨刷器有助于確保載物臺行駛壽命。高精度光學限位開關和終端停止也是標準配置。

整體式波紋管式路蓋可保護驅動和軸承系統免受污染。金屬表面采用有吸引力的透明陽極氧化表面保護。公制（標準）和英制安裝和螺栓孔模式均可用。

高精度
ATS100 在緊湊的封裝中樹立了精密性能的標準。ATS100 采用 -PL2 選件，能夠達到亞微米級精度和 0.3 μm 的令人印象深刻的重復精度。

電機和驅動器
ATS100 系列載物臺包括 Aerotech 的 BMS 系列無刷旋轉電機。該電機具有無刷電機的所有優點 - 高加速度，無刷磨損和更低的加熱 - 但齒槽零，可實現極其平穩的運動和準確性。Aerotech制造各種匹配的驅動器和控制裝置，以提供集成和優化的運動解決方案。

選項
標準選件包括用于多軸裝配和真空制備的精密直角支架，可達 10-6托。