ABRS 空氣軸承直驅旋轉臺


我們的ABRS系列旋轉式空氣軸承載物臺在極低的外形封裝中提供的角度定位、速度穩定性和誤差運動性能。ABRS旨在滿足晶圓檢測、高精度計量、X射線衍射系統、光學檢測和制造以及MEMS/納米技術器件制造的嚴格要求。

設計特點
直驅、無槽、無刷伺服電機
零齒槽電機，具有出色的速度穩定性
出色的誤差運動和擺動性能
直接耦合、高精度旋轉編碼器
薄型平面設計
無機械接觸
緊湊型封裝
ABRS 系列直驅旋轉載物臺的設計經過優化，可限度地降低載物臺高度。載物臺的低剖面降低了系統的有效工作高度，限度地減少了“堆疊"相關錯誤。除了較低的總高度外，ABRS 系列還提供透明孔徑，可用于產品饋通、激光束傳輸、電纜間隙或特定應用要求。

的機械設計
ABRS設計具有大的空氣承載表面，具有高剛度和負載能力，不僅產生出色的軸向和徑向誤差運動，而且還產生出色的傾斜誤差運動。由此產生的面誤差運動明顯優于其他旋轉式空氣軸承工作臺和主軸，極大地有利于需要出色平面性能的應用。

無刷直驅
為了限度地提高定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列無槽無刷電機。該電機采用*的磁路設計，以最小的熱量產生高扭矩輸出。無槽設計本質上是零齒槽和無扭矩紋波的。這使得ABRS載物臺非常適合需要在低速或高速下具有平滑掃描速度的應用。

精確定位
光學編碼器是 ABRS 的標準配置。當與Aerotech的反饋倍增器和控制相結合時，可以實現
定制設計
ABRS的定制版本可用于速率表和慣性制導試驗臺應用。

1500萬像素：

2000萬像素：

2500萬像素：

3000萬像素：