ABL3600 空氣軸承直驅開放式直線平臺

ABL3600雙軸、大口徑、開放式框架、含氣載物臺可滿足掃描顯微鏡、掩模和晶圓檢測的需求。

設計特點
大通光圈
所有軸上的全預載荷
雙直線電機驅動的 X 軸和 Y 軸
非接觸式線性編碼器，精度高
設計與施工
高剛度空氣軸承和雙直線電機驅動軸的組合提供了具有性能特征的XY開放式框架載物臺。ABL3600 代表了與傳統機械軸承開架級相比性能的重大提升。

與所有 Aerotech 空氣軸承系統一樣，專有制造技術用于生產具有的幾何特性的載物臺，包括直線度、平面度、螺距、滾動和偏航。ABL3600 在 Aerotech 的生產設施中制造，加工時具有傳統方法無法實現的嚴格公差。

無刷線性伺服電機
ABL3600 集成了高功率直線電機，可滿足應用的需求。這使得載物臺具有直接驅動機構的所有優點：零背隙，無上鏈，出色的加速度，零摩擦和出色的伺服剛度。許多應用需要的運動穩定性，而這只能通過直線電機驅動來滿足。由于傳動系零摩擦，無再循環元件，ABL3600 是掃描、成像或任何其他精密應用的理想選擇。

高精度線性編碼器反饋
標準反饋設備是高分辨率、非接觸式線性編碼器。這款非接觸式編碼器在各種工作條件下提供出色的可重復性和穩定性。提供數字和模擬輸出版本。

電纜管理
多年的研究造就了業界的電纜管理系統（CMS）。我們仔細優化電纜彎曲半徑，只使用質量的電纜，以確保多年的運行。在不太可能發生故障的情況下，Aerotech的模塊化設計使電纜更換變得快速而簡單，停機時間最短。為了便于集成到最終系統中，我們在CMS捆綁包中包括所有客戶所需的電纜，空氣軟管等。兩端連接，可輕松集成到客戶的機器中。

定制設計
Aerotech設計和制造定制的高性能系統，以滿足客戶對各種應用的需求和規格。我們可以利用超過35年的運動控制和定位系統經驗，為您的應用提供理想的解決方案。