ANT95V-3單軸升降直驅(qū)納米定位平臺(tái)

ANT95V-3是直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的楔形垂直升降平臺(tái)。它可以很容易地與其他平臺(tái)集成，包括ANT95系列中的平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)出色的多軸性能，并提供兩種精度等級(jí)。
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
? 3毫米垂直行程的納米性能
? 高分辨率(1納米)、可重復(fù)性(100納米)和精確度(200納米)
? 小于1納米的原位穩(wěn)定性
? 抗蠕變交叉滾子軸承
? 高動(dòng)態(tài)性能
非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
ANT95V-3系列保留了所有原始ANT系列的直接驅(qū)動(dòng)優(yōu)勢(shì)。只有非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)能夠提供大規(guī)模生產(chǎn)精密設(shè)備所需的穩(wěn)健、精確和高速定位。ANT95V-3級(jí)利用Aerotech的*直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)的定位性能。這種直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)是高性能、無齒槽、非接觸、高速、高分辨率和高精度的。這種的驅(qū)動(dòng)器和軸承組合封裝在極小的外形和尺寸中，在許多應(yīng)用中提供了切實(shí)的優(yōu)勢(shì)，例如高精度定位、磁盤驅(qū)動(dòng)器制造、光纖對(duì)準(zhǔn)、光學(xué)延遲元件驅(qū)動(dòng)、傳感器測(cè)試和掃描過程，這些應(yīng)用需要平穩(wěn)和精確的運(yùn)動(dòng)。

靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
ANT95V-3系列具有通用安裝和臺(tái)面安裝孔，便于系統(tǒng)集成。兩個(gè)、三個(gè)或更多的軸可以很容易地結(jié)合起來，實(shí)現(xiàn)靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)和多軸配置。
系統(tǒng)特征
出色的精度、位置可重復(fù)性和在位穩(wěn)定性需要高系統(tǒng)分辨率。ANT95V-3級(jí)的業(yè)界的1 nm最小增量步長(zhǎng)提供了這種高水平的性能。高質(zhì)量、抗蠕變的交叉滾子軸承有助于實(shí)現(xiàn)出色的就位穩(wěn)定性。該階段在產(chǎn)品的整個(gè)生命周期內(nèi)幾乎無需維護(hù)。Aerotech的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)沒有滯后或反沖，能夠?qū)崿F(xiàn)精確和可重復(fù)的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)。