ANT95R系列單軸旋轉直驅納米定位平臺
ANT95R直驅旋轉平臺提供的位置穩定性和0.01弧秒以下的增量運動性能,并提供兩種精度等級。緊湊的尺寸便于與其他運動軸和系統集成。
設計特點
? 0.01弧秒分辨率
? 0.005弧秒在位穩定性
? 出色的跳動指標
? 多軸配置
? 高動態性能
? 有限和無限旋轉
多軸功能
ANT95R系列旨在與Aerotech的ANT直線位移臺產品兼容并易于集成。這些平臺為幾乎所有納米制造或檢測應用提供了精確性、穩定性和小尺寸性能。
動態特性
除了高精度水平,這些系統還提供高動態性能,非常適合需要速度和精度的需求。
持久性
ANT95R載物臺系列設計用于全天候制造環境。與其他旋轉設備不同,ANT95-R無需定期維護,確保多年運行。













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