D500壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器
HORIBA株式會(huì)社堀場(chǎng)制作所 的壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500
高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊—?dú)怏w流量控制不受上游和下游壓力波動(dòng)差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊
概要
最的壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500
高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊——?dú)怏w流量控制不受上游和下游壓力波動(dòng)差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊
特征
壓力不敏感性
高性能的壓力不敏感型功能可有效簡(jiǎn)化氣體供應(yīng)系統(tǒng)
多量程,多氣體,多種壓力的解決方案
新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內(nèi)的流量,供應(yīng)壓力范圍
G-LIFE 自我檢測(cè)功能(氣體定律檢查集流節(jié)流方程)
G-Life功能允許操作人員進(jìn)行流量計(jì)自我監(jiān)測(cè),通常會(huì)在三秒內(nèi)提高生產(chǎn)能力
高精度
的三維調(diào)節(jié)已改進(jìn)工藝氣體的流量精度
快速響應(yīng)
響應(yīng)速度＜0.8秒
已實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)且穩(wěn)定的流量控制
動(dòng)態(tài)范圍
控制范圍：0.2% F.S. ~ 99% F.S.
制造: HORIBA STEC
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