HORIBA S48-28氣體質量流量控制器
特點
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
流量范圍100L-200L/min
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的抑制
化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
良好的選擇性
S48 28/HMT模擬式氣體質量流量控制器 技術參數(shù)
特點
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
流量范圍100L-200L/min
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的抑制
化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
良好的選擇性
S48 28/HMT模擬式氣體質量流量控制器 技術參數(shù)
| 項目 | S48 28/HMT | |
| 流量規(guī)格 | (100,150,200)L/min | |
| 調節(jié)閥類型 | 電磁調節(jié)閥 | |
| 調節(jié)閥靜止狀態(tài) | 常閉 | |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 流量控制范圍 | 5%～99% | |
| 流量測量范圍 | 0～99% | |
| 響應時間 | 2s（T98，設定值的±2% F.S.） | |
| 工作環(huán)境溫度 | 5℃～50℃ | |
| 精度保證溫度 | 15℃～35℃ | |
| 精度 | ±1.0%F.S. | |
| 線性精度 | ±0.5%F.S. | |
| 重復性 | ±0.2%F.S. | |
| 工作壓差 | （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa | |
| 耐壓 | 3MPa | |
| 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s （He） | |
| 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
| 管路接頭 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″ | |
| 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V，＜100mA；-15V，＜200mA | +24VDC(寬電壓+11～+25V), ＜350mA(+24VDC供電時) |
| 設定信號 | (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ | 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
| 流量輸出信號 | (0～5)VDC 負載能力≤3mA | |
| 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
| 重量(kg) | 2.8 | |
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