HORIBA S48 32質量流量控制器模擬型
S48 32/HMT 模擬型質量流量控制器 特點
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的控制
良好的選擇性
化的零配件供應——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的控制
良好的選擇性
化的零配件供應——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
S48-32質量流量控制器模技術參數
| 項目 | S48 32/HMT | |
| 流量規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min | |
| 調節閥類型 | 電磁調節閥 | |
| 調節閥靜止狀態 | 常閉 | |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 流量控制范圍 | 2%～99% | |
| 流量測量范圍 | 0～99% | |
| 響應時間 | 2s（T98，設定值的±2% F.S.） | |
| 工作環境溫度 | 5℃～50℃ | |
| 精度保證溫度 | 15℃～35℃ | |
| 精度 | ±1.0%F.S. | |
| 線性精度 | ±0.5%F.S. | |
| 重復性 | ±0.2%F.S. | |
| 工作壓差 | ～5L/min (50～300)kPa(D) 5L/min～10L/min (100～300)kPa(D) 30L/min～50L/min (150～300)kPa(D) | |
| 耐壓 | 3MPa | |
| 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s （He） | |
| 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
| 管路接頭 | Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ | |
| 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA | +24VDC(寬電壓+11～+25V), ＜250mA(+24Vdc供電時) |
| 設定信號 | (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ | 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
| 流量輸出信號 | (0～5)VDC 負載能力≤3mA | |
| 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
| 重量(kg) | 0.9 | |
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