型號

SEC- (質(zhì)量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質(zhì)量流量計)

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時　關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2〜99% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0〜99% F.S.

響應速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d)　10〜30 SLM:100〜300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa・m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5〜50℃(精度的確保：15〜35℃)

流量設定信號

0.1〜5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2〜99% F.S.

流量輸出信號

0〜5VDC(最小負荷電阻2kΩ)

驅(qū)動電源

+15VDC ±5% 50mA

-15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA

−15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

型號

SEC- (質(zhì)量流量控制器)

E60

E70

E80

SEF- (質(zhì)量流量計)

E60

E70

E80

適用氣體種類*1

N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀

N₂、O₂、Air、H₂

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時　關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

50/100 SLM

200 SLM

300/500 SLM

流量控制范圍 (適于SEC系列)

5〜99% F.S.

流量測量范圍 (適于SEF系列)

0〜99% F.S.

響應速度

1秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

±2% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

反復性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

工作差壓值值(適于SEC系列)

100〜300kPa(d)

200〜350kPa(d)

使用壓力 (適于SEF系列)

350kPa(G)以下

耐　壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10^-7Pa・m³/s(He)以下

450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)

使用環(huán)境溫度

5〜45℃(精度的確保：15〜35℃)

流量設定信號

0.25〜5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5〜99% F.S.

流量輸出信號

0〜5VDC(最小負荷電阻2kΩ)

驅(qū)動電源

＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

3/8SWL 類型

1/2SWL 類型