| 針尖半徑, nm | <10 |
| 針尖全錐角度小于, ° | 40 |
| 探針針尖高度, µm | 5 |
| 懸臂長度, 1±5 µm | 125 |
| 懸臂寬度, w±3 µm | 20 |
| 探針半徑, nm | 10 |
| 力常數(shù), N/m | 5.5 |
| 共振頻率, kHz | 160 |
| Ratio, ktr/kvr | 10 |












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