DPE探針系列具有加在針尖上特殊的導電層結構,以在不損失成像分辨率下改善探測電流的敏感性。
DPE17/AlBS 針尖參數.
| 針尖度層材料 | Pt |
| 針度, ° | <40 |
| 針尖總長, µm | 20 - 25 |
懸臂針尖鍍有連續的25nm厚的Pt層,懸臂背面鍍有30nm 的鋁層。
DPE17/AlBS 懸臂參數.
| 懸臂長度, 1±5 µm | 460 |
| 懸臂寬度, w±3 µm | 50 |
| 探針半徑, nm | 35 |
| 力常數, N/m | 0.15 |
| 共振頻率, kHz | 12 |












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