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EVG®120 自動抗蝕劑處理系統

EVG®120是緊湊，經濟高效的抗蝕劑處理系統，可在潔凈室空間有限的情況下啟動生產。

技術數據

EVG120通用和全自動抗蝕劑處理工具能夠處理高達200 mm / 8“的各種基板形狀和尺寸。新一代EVG120采用全新的超緊湊設計，并帶有新開發的化學柜，可用于外部存儲化學品，同時提供更高的通量能力，針對大批量客戶需求進行了優化，并準備在大批量生產（HVM）中使用EVG120為用戶提供了一套精心設計的優勢，這是其他任何工具所無法企及的，并保證了質量各種應用領域的標準，擁有成本卻非常低。

特征

晶圓尺寸可達200毫米；超緊湊設計，占用空間小；多2個涂布/顯影室和10個熱/冷板

用于旋涂和噴涂，顯影，烘烤和冷卻的多功能模塊的多功能組合為許多應用領域提供了巨大的機會

化學柜，用于化學品的外部存儲

EVG集團OmniSpray®超聲霧化技術在地形的保形涂層方面可提供的工藝結果

CoverSpinTM旋轉蓋可降低抗蝕劑消耗并優化抗蝕劑涂層的均勻性

Megasonic技術用于清潔，聲波化學處理和顯影，可提高處理效率并將處理時間從數小時縮短至數分鐘

且經過現場驗證的機器人具有雙末端執行器功能，可確保連續的高產量

工藝技術和開發服務:

多用戶概念（數量的用戶帳戶和配方，可分配的訪問權限，不同的用戶界面語言）;智能過程控制和數據分析功能[Framework SW Platform]；用于過程和機器控制的集成分析功能；設備和過程性能跟蹤功能；并行/排隊任務處理功能；智能處理功能發生和警報分析；智能維護管理和跟蹤。

技術數據

可用模塊：旋涂/OmniSpray®/顯影 烤/冷晶圓處理選項 單/雙EE /邊緣處理/晶圓翻轉

彎曲/翹曲/薄晶圓處理 智能過程控制和數據分析功能（框架SW平臺）

用于過程和機器控制的集成分析功能：

并行任務/排隊任務處理功能 設備和過程性能跟蹤功能

智能處理功能 事故和警報分析/智能維護管理和跟蹤

晶圓直徑（基板尺寸）：高達200毫米

模塊數：工藝模塊：2；烘烤/冷卻模塊：多10個

工業自動化功能：

Ergo裝載盒工作站/ SMIF裝載端口/ SECS / GEM / FOUP裝載端口

分配選項：

各種抗蝕劑分配泵，可覆蓋高達52000 cP的各種粘度

液體底漆/預濕/洗碗 去除邊緣珠（EBR）/背面沖洗（BSR）

恒壓分配系統/注射器分配系統 電阻分配泵具有流量監控功能

可編程分配速率/可編程體積/可編程回吸 超音波

附加模塊選項：

預對準：光學/機械 ID讀取器：條形碼，字母數字，數據矩陣

系統控制：操作系統：Windows

文件共享和備份解決方案/制配方和參數/離線配方編輯器；靈活的流程定義/易于拖放的配方編程；并行處理多個作業/實時遠程訪問，診斷和故障排除；多語言用戶GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR。