亚洲精品无码一区二区三区久久久,长春欧亚卖场是哪个区,美熟女一区二区三区,亚洲中文字幕无码一区二区三区 ,欧美人与动牲交zooz男人,日本黄h兄妹h动漫一区二区三区,亚洲国产综合久久天堂,四虎成人影视免费在线站长,小黄片午夜视频在线播放,久久久日韩精品一区二区三区

EVG®610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng)，從小件到150毫米

技術(shù)數(shù)據(jù)

該工具支持多種標(biāo)準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵合對齊和納米壓印光刻（NIL）。

EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間僅為幾分鐘。其的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到級別的所有需求，因此使其非常適合大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用。

對于壓印工藝，EVG610允許基板的范圍從小芯片尺寸到直徑150毫米。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外，還可以包括郵票的釋放機制。EV Group卡盤設(shè)計可提供均勻的接觸力，以實現(xiàn)高產(chǎn)量的印記，該卡盤支持軟性和硬性印模。

特征

頂側(cè)和底側(cè)對齊能力

對準臺

自動楔形誤差補償機制

電動和配方控制的曝光間隙

支持新的UV-LED技術(shù)

小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠程技術(shù)支持

多用戶概念（數(shù)量的用戶帳戶和配方，可分配的訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換； 臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

附加功能：鍵對齊、紅外對準、納米壓印光刻、µ接觸印刷