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布魯克作為三維表面測量與觀察的，提供從微觀如MEMS（微機電系統）到宏觀如發動機腔體等不同大小樣品的快說非接觸式分析。如今的三維顯微鏡已歷十代，在原有WYKO® 專有技術基礎上，不斷積累，來保證面三維測量所需的高靈敏度和穩定性。 布魯克公司的光學輪廓儀在基本工作原理及應用方面擁有100多項，有超過30年的生產經驗，成熟的生產工藝保證了布魯克產品具有的性能。

應用：

對LED行業、太陽能行業、觸摸屏行業、半導體行業以及數據存儲行業等，提供非接觸式測量方案，樣品從小至微米級別的微機電器件（MEMS），大到整個引擎部件，都可以獲得表面形貌、粗糙度、三維輪廓等數據

原理：

利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量所的。

特征：

的垂直分辨率，大的測量性能；

倍的放大倍率；

任何倍率下亞埃級至毫米級垂直測量量程；

高分辨率攝像頭；

測量硬件的設計，增強生產環境中的可靠性和重復性；

較高的震動的容忍度和GR&R測量的能力

的自動校準能力；

多核處理器下運行的Vision64 軟件，大大提高三維表面測量和分析速度數據處理速度提高幾十倍；

分析速度提高十倍；

無以倫比的大量數據無縫拼接能力；

高度直觀的用戶界面，擁有的實用性，操作簡便和分析功能*

優化的用戶界面大大簡化測量和數據分析過程；

的可視化操作工具；

可自行設置數據輸出的界面；