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三維光學顯微鏡

布魯克作為三維表面測量與觀察，提供從微觀如MEMS（微機電系統）到宏觀如發動機腔體等不同大小樣品的快說非接觸式分析。如今的三維顯微鏡已歷十代，在原有Wyko®專有技術基礎上，不斷積累，來保證面對各種應用環境時三維測量所需的高靈敏度和穩定性；而這一挑戰往往是其他測量技術或測量系統難以克服的。

布魯克三維光學顯微系統在一直以服務和支持著稱，在性上一貫良好。從研究型實驗室到生產型車間和半導體無塵間，數以幾千計的系統被使用。作為為質量控制和研發設計的測量儀器，可用于加工制造類應用的監控，在汽車、航空航天、高亮度LED、太陽能、半導體和科研領域，布魯克總有一款適合您應用和與預算的三維光學顯微測量系統。

ContourX-500 3D光學輪廓儀

用于3D計量的全自動臺式

ContourX-500光學輪廓儀是用于快速，非接觸式3D表面度量的的自動化臺式系統。該系統集成了布魯克傾斜/傾斜光學頭，可以編程，以在一定角度范圍內測量表面特征，同時程度地減少跟蹤誤差。具有測量功能的ContourX-500具有的Z軸分辨率和精度，并在更小的占地面積下提供了布魯克白光干涉儀（WLI）落地式機型的所有。利用的用戶界面，ContourX-500可以直觀地訪問的預編程過濾器和分析庫。借助其新的USI通用掃描模式，可以輕松地針對的復雜應用定制分析器，從加工表面和半導體工藝的QA / QC計量學到眼科和MEMS器件的R＆D表征。

ContourX-500 3D光學輪廓儀

輪廓GT-K

的自動化

布魯克有的頭部傾斜/傾斜為生產設置和檢查提供了的用戶靈活性。通過將自動傾斜/傾斜功能與顯微鏡頭中的光路相結合，布魯克將檢測點與視線相結合，而與傾斜無關。這樣可以減少操作員的干預，提供的可重復性。此功能與自動登臺和物鏡相結合，使ContourX-500非常適合“按需測量"的工業需求，而且占地面積小。

輪廓X-500

傳統的俯仰和滾動舞臺設計需要操作員進行調整

五個運動軸以保持在線的檢查點

視線進行測量。頭部的布魯克提示/傾斜

設計在檢查點上保持了視線-

不論傾斜度-都能優化圖像采集和

的數據記錄時間。

輪廓X-500

WLI為所有目標提供恒定且的垂直分辨率。

的價值和分析

ContourX-500具有成千上萬的自定義分析功能以及布魯克簡單易用但功能*的VisionXpress™和Vision64®用戶界面，為實驗室和工廠車間的生產率進行了優化。這種的硬件和軟件組合提供了對高可重復性和高通量計量學測量的簡化訪問，從而超過了同類計量能力。