Dimension® Edge™ 原子力顯微鏡采用技術, 其儀器性能、測試功能和操作性在同類產品中處于水平。是Dimension系列中的閉環掃描原子力顯微鏡,的傳感器設計地降低噪音和漂移,既獲得了閉環的精度,又具有開環的噪音水平,在大樣品臺AFM上實現了小樣品臺AFM的成像性能。
應用:
1、主要用于材料納米級表面形貌、粗糙度的測量,同時還可以測試納米材料的表面機械性能、電學、磁學和電化學等物理特性等;
2、應用于半導體、納米材料、通訊、生物學、數據儲存、食品、化學、地質、能源、環境等領域。
基本參數 | |
X-Y方向掃描范圍 | 90μm x 90μm(典型值),85μm(小值) |
Z方向掃描范圍 | 10μm(典型值), μm(小值) |
縱向噪音水平 | <50pm rms值(在合適的環境,典型的成像帶寬條件下(可達625Hz)) |
XY方向閉環噪音水平 | < rms值(在典型的成像帶寬條件下(可達625Hz)) |
Z方向閉環噪音水平 | < rms值(在典型的成像帶寬條件下(可達625Hz)) |
樣品尺寸和固定方式 | 150mm直徑,真空吸附,15mm厚; 可選擇墊塊的情況下,可達40mm厚 |
馬達驅動樣品臺(X-Y軸) | 150mm x 150mm可觀測區域; 可編程進行多區域掃描 |
光學系統 | 5百萬像素數字攝像頭; 180μm至1465μm可視區域; 數字化縮放,馬達驅動聚焦 |
信號輸入輸出 | 控制器內置可配置的信號輸入/輸出; 包括可定制的信號輸入輸出,數字化反饋和雙數字化鎖相放大器 |
單點譜線 | 三軸閉環控制可實現point-and-shoot式定位和譜線測量; 內置了熱調諧方式的彈性常數校準功能; |
溫度控制 | 可選-35至+250℃加熱/冷卻附件; 包括氣體充換功能; |















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