根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
特征：
u 臺階高度重復性優于5埃 lt;5 ?）
l 單拱龍門式設計實現了突破性的掃描穩定性
l 的“智能化電子器件"實現了低噪聲的新
u 操作簡便，高效易用
l 直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程
l 的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現超微力和較大的力測量
l 自對準的探針設計使用戶可以地更換探針
參數：
測試技術 | 探針式表面輪廓測量技術（接觸模式） |
測量范圍 | 二維表面輪廓測量 可選擇三維測量以及數據分析 |
樣品觀測 | 可選擇放大倍數，視場（FOV）范圍：1~4mm |
探針傳感器 | 低慣性量傳感器 （LIS 3） |
探針作用力 | LIS 3 傳感器中 1~15mg |
低作用力模式 | N-Lite+ 低作用力 ~15mg |
探針選項 | 探針曲率半徑 50nm~25um 高徑比針尖（HAR）10um×2um 和200um×20um ；也可以采用客戶定制針尖 |
樣品 X/Y 載物臺 | 手動 X/Y（4英寸）：100mm*100mm，可手動校平 自動 X/Y（6英寸）：150mm*150mm，可手動校平 |
樣品R/? 載物臺 | 手動，360度連續旋轉 自動，360度連續旋轉 |
計算機系統 | 64位多核并行處理器，Windows® 7 系統；可選配23英寸平板顯示器 |
軟件 | Version 64 操作分析軟件，應力測量軟件，懸臂偏轉測試軟件； 選配：縫合軟件；3D應力分析軟件；3D測量軟件 |
隔振系統 | 多種隔振方案可供選擇。 |
掃描長度范圍 | 55mm 2英寸） |
單次掃描數據采集點 | 120，000 |
樣品厚度 | 50mm (2英寸) |
晶片尺寸 | 200mm (8英寸) |
臺階高度重復性 | <5?, 1sigma on μm step |
垂直方向掃描范圍 | 1mm (9英寸.) |
垂直方向分辨率 | 分辨率可達1? (在測量范圍內 |
輸入功率 | 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz |
溫度范圍 | 可以操作溫度為20~ 25°C (68~77°F) |
濕度范圍 | ≦80%，無凝結 |
系統尺寸和重量 | 455mm W x 550mm D x 370mm H ( W x D x H); 34kg (75lbs.); 隔離罩：550mm L x 585mm W x 445mm H ( L x x H); (11lbs.) |
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