SmartView NT
Automated Bond Alignment System for Universal Alignment
SmartView NT自動鍵對準系統(tǒng),用于通用對準
全自動鍵合對準系統(tǒng),采用微米級面對面晶圓對準的專有進行通用對準
用于通用對準的SmartView NT自動鍵合對準系統(tǒng)提供了微米級面對面晶圓級對準的專有。這種對準技術(shù)對于在技術(shù)的多個晶片堆疊中達到所需的精度至關(guān)重要。SmartView技術(shù)可以與GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)結(jié)合使用,以在隨后的全自動平臺上進行鍵合。
特征
適用于200毫米和300毫米配置的自動化和集成式EVG粘合系統(tǒng)(EVG560 ,GEMINI )
用于3D互連,晶圓級封裝和大批量MEMS器件的晶圓堆疊
通用鍵對準器(面對面,背面,紅外和透明對準)
無需Z軸運動,也無需重新聚焦
基于Windows 的用戶界面
將鍵對對準并夾緊,然后再裝入鍵合室
手動或全自動配置(例如與GEMINI 集成)
















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