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SmartView NT

Automated Bond Alignment System for Universal Alignment

SmartView NT自動鍵對準系統(tǒng)，用于通用對準

全自動鍵合對準系統(tǒng)，采用微米級面對面晶圓對準的專有進行通用對準

用于通用對準的SmartView NT自動鍵合對準系統(tǒng)提供了微米級面對面晶圓級對準的專有。這種對準技術(shù)對于在技術(shù)的多個晶片堆疊中達到所需的精度至關(guān)重要。SmartView技術(shù)可以與GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)結(jié)合使用，以在隨后的全自動平臺上進行鍵合。

特征

適用于200毫米和300毫米配置的自動化和集成式EVG粘合系統(tǒng)（EVG560 ，GEMINI ）

用于3D互連，晶圓級封裝和大批量MEMS器件的晶圓堆疊

通用鍵對準器（面對面，背面，紅外和透明對準）

無需Z軸運動，也無需重新聚焦

基于Windows 的用戶界面

將鍵對對準并夾緊，然后再裝入鍵合室

手動或全自動配置（例如與GEMINI 集成）