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CAMTEK 自動光學(xué)檢驗(yàn)AOI設(shè)備三維集成電路

Camtek靈活平臺利用各種技術(shù)解決的復(fù)雜步驟3 dic發(fā)展和生產(chǎn)的需要。
我們自動化的2 d和3 d測量和缺陷檢測能力覆蓋進(jìn)的產(chǎn)業(yè)需求解決產(chǎn)業(yè)路線圖。
該系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)分析工具使過程監(jiān)控和產(chǎn)量的提高。

功能

?高容量整片腫塊2 d和3 d檢查和計(jì)量
?層厚度測量
?調(diào)整層之間
?覆蓋測量
?高分辨率CD測量
?表面相關(guān)缺陷檢查
?TSV CD測量
?通過了檢驗(yàn)
?通過揭示/指甲高度和co-planarity測量
?RDL檢驗(yàn)和計(jì)量

技術(shù)

?Camtek的白光三角測量傳感器
?進(jìn)的缺陷檢測和計(jì)量處理引擎
?高分辨率三維共焦傳感器
?光干涉測量技術(shù)對3 d

產(chǎn)品

Eagle-AP

Eagle-AP提供2 d和3 d檢驗(yàn)和計(jì)量在同一平臺上,同時保持的性能和吞吐量水平。

EagleT-AP

為的包裝設(shè)計(jì)市場,EagleT-AP提供了2 d和3 d檢驗(yàn)和計(jì)量在同一平臺上,同時保持的性能和吞吐量水平。