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SLCK300三靶磁控濺射

1.濺射室 1.極限真空度：≤×10-6 Pa

2. 系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤×/S

　　3. 系統(tǒng)從大氣開(kāi)始抽氣：濺射室30分鐘可達(dá)到×10-4 Pa；

　　4. 系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤5Pa

　　5. 濺射真空室1套，立式上開(kāi)蓋結(jié)構(gòu)，尺寸不小于Ф300mm×300mm(尺寸結(jié)構(gòu)訂制)，全不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊接，表面進(jìn)行電化學(xué)拋光，內(nèi)含防污內(nèi)襯，可內(nèi)烘烤到100～150℃，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封，腔體內(nèi)有照明系統(tǒng)