SLCK300A型磁控濺射
1. 濺射室極限真空度：≤×10-6 Pa
2. 系統真空檢漏漏率：≤×/S
3. 系統從大氣開始抽氣：濺射室30分鐘可達到×10-4 Pa；
4. 系統停泵關機12小時后真空度：≤5Pa
5. 濺射真空室1套，立式上開蓋結構，尺寸不小于Ф300mm×300mm(尺寸結構訂制)，全不銹鋼結構，氬弧焊接，表面進行電化學拋光，內含防污內襯，可內烘烤到100～150℃，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封，腔體內有照明系統
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SLCK300A型磁控濺射1.濺射室極限真空度：≤6.6×10-6Pa2.系統真空檢漏漏率：≤5.0×10-7Pa.l/S3.系統從大氣開始抽氣：濺射室30分鐘可達到6.6×10-4Pa
SLCK300A型磁控濺射
1. 濺射室極限真空度：≤×10-6 Pa
2. 系統真空檢漏漏率：≤×/S
3. 系統從大氣開始抽氣：濺射室30分鐘可達到×10-4 Pa；
4. 系統停泵關機12小時后真空度：≤5Pa
5. 濺射真空室1套，立式上開蓋結構，尺寸不小于Ф300mm×300mm(尺寸結構訂制)，全不銹鋼結構，氬弧焊接，表面進行電化學拋光，內含防污內襯，可內烘烤到100～150℃，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封，腔體內有照明系統
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