SLZF270A熱蒸發設備
該設備主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、電控系統、配氣系統等部分組成。
技術要求：
1、真空度：鍍膜室的極限真空≤8×10-5Pa；
2、系統漏率≤1×10-10PaL/s。
3、蒸發源2個，1臺蒸發電源，可切換兩個蒸發源， 功率1Kw。
4、樣品架可放置大小為Φ120mm的樣品，載玻片；
5、抽速 40分鐘 8x10-4Pa；
沈陽思聯真空設備有限公司
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SLZF270A熱蒸發設備 該設備主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、電控系統、配氣系統等部分組成
SLZF270A熱蒸發設備
該設備主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、電控系統、配氣系統等部分組成。
技術要求：
1、真空度：鍍膜室的極限真空≤8×10-5Pa；
2、系統漏率≤1×10-10PaL/s。
3、蒸發源2個，1臺蒸發電源，可切換兩個蒸發源， 功率1Kw。
4、樣品架可放置大小為Φ120mm的樣品，載玻片；
5、抽速 40分鐘 8x10-4Pa；
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