1. 濺射室極限真空度:≤×10-5 Pa
2. 系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤×/S
3. 系統(tǒng)從大氣開始抽氣:濺射室30分鐘可達(dá)到×10-3 Pa;
4. 系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:≤5Pa
5. 濺射真空室1套,立式上開蓋結(jié)構(gòu),尺寸不小于Ф300mm×300mm,不銹鋼+石英結(jié)構(gòu),不銹鋼表面進(jìn)行電化學(xué)拋光,接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封,腔體內(nèi)有照明系統(tǒng)










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