小型工業(yè)EX5A和EX5AR（加固型）在微型基礎(chǔ)上提高激光性能,激光器壽命大大延長(zhǎng)，激光能量輸出和平均功率也高于標(biāo)準(zhǔn)的。非常適合需要高占空比和少維護(hù)的激光應(yīng)用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長(zhǎng),脈寬8~10ns,重復(fù)頻率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高達(dá)8W，193nm激光功率高達(dá)4W。
小型工業(yè)EX5A/AR規(guī)格
工作物質(zhì) F2 ArF KrF XeCl XeF
波長(zhǎng)nm 157 193 248 308 351
大能量mJ 1.5/2.5 14 20 12 8
峰值功率MW 0.30 2.0 2.5 1.25 0.8
平均功率W@250Hz 0.3/0.4 3.0 5.0 2.5 1.4
平均功率W@500Hz 0.5 6.0 8.0 4.0 2.5
平均功率W@1000Hz 1.0 9 14 6.0 5.0
大能量mJ @2000Hz 0.7 0.9
平均功率W@2000Hz 1.0 1.4
動(dòng)態(tài)氣體壽命@50%能量 10E6 12E6 18E6 20E6 15E6
50%能量保存期 10天 15天 30天 >2個(gè)月 30天
脈寬ns 8-10
穩(wěn)定性 <2%標(biāo)準(zhǔn)偏差
激光管壽命 50億脈沖
光束尺寸，mm 3X 6
發(fā)散角mRad全角 1 X 2
冷卻 空氣/水冷
定時(shí)抖動(dòng) 2ns標(biāo)準(zhǔn)偏差
重量 15kg 250/500Hz，35kg 1000/2000Hz
小型工業(yè)
產(chǎn)品二維碼| 參 考 價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 產(chǎn)品型號(hào)：FPGAM-EX5A
- 品牌：
- 產(chǎn)品類(lèi)別：光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備
- 所在地：上海市
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