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這款大能量是為大能量紫外激光應用設計的大功率,非常適合脈沖激光沉積PLD等應用,193nm波長的激光脈沖能量高達150mJ,248nm的激光脈沖能量高達250mJ.
大能量特點
具有20Hz,50Hz,100Hz重復頻率供選擇
單激光器即可產生大功率大能量激光
光束發散角小
計算機可控制
抖動小到<2ns 
•
•的脈間穩定性
•氣體壽命長
•長壽命光學器件
•電暈預電離技術
•車載真空泵
大能量應用
•替代科研激光器
•脈沖激光電離激發
•準分子激光微納加工
•精密激光標記
•屈光手術
•拉曼光譜激發源
大能量規格
工作物質                     F2      ArF       KrF      XeCl     XeF
波長nm                       157     193       248       308     351
大能量mJ                20       125       250       125    100
平均功率W@20Hz     0.4     2.5       5         2.5         2
平均功率W@50Hz     0.9     5       12           4          4.5
靜態氣體壽命     10天    20天   30天     6個月   30天
激光窗口壽命                         100E6
重復頻率                     20Hz和50Hz
脈度                         20-26ns
光束尺寸               19x 7 mm        V x H
穩定性                      <2%標準偏差
光束發散角                      3x 1.2 mRad全角
冷卻                             空氣/水
激光管壽命                     >10億脈沖
電源                   20Hz 95-240 VAC, 3/ 6 A, 47/63 Hz           50Hz 208-240 VAC, 5/10A, 47/63 Hz
超大能量規（增強版）
工作物質                         F2        ArF           KrF       XeCl     XeF
波長nm                           157      193        248         308       351
大能量mJ                    22       200         1J         200     125
平均功率W@20Hz     0.4         3.0         10         3.0       2.0
平均功率W@50Hz     0.9          6                          6            4
靜態氣體壽命            10天    20天       30天      6個月    30天
（50%能量）
脈寬                         18-22ns
腰斑尺寸                    19x 7 mm     
穩定性                         <2%標準偏差
光束發散角                      3x 1.2 mRad
定時抖動                     +/-2ns
冷卻                          空氣/水
激光管壽命                     >10億脈沖
重量                         80kg
尺寸                     1420 X 430 X 330 mm