這款高功率是按照工業標準打造的工藝級,具有良好的激光穩定性和激光壽命。可提供157nm波長,248nm激光功率高達68W，193nm激光功率高達32W。的動態氣體壽命和靜態氣體壽命高達30億次脈沖.可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬15~22ns,重復頻率60Hz/125Hz/250Hz/500HZ,248nm激光功率高達68W，193nm激光功率高達32W。
高功率特征
•高功率
•2ns低觸發抖動
•的脈間穩定性
•氣體壽命長
•長壽命光學
•電暈預電離技術
•陶瓷/金屬激光管封裝技術
高功率應用
•替代科研激光器
•脈沖激光電離激發
•準分子激光微加工
•精密標記
•屈光手術
•拉曼光譜
高功率規格
參數 F2 ArF KrF XeCl XeF
波長nm 157 193 248 308 351
大能量mj 10 75 125 65 60
平均功率W@125Hz 1 8 12 6.5 6
平均功率W@250Hz 2 16 24 13 10
動態氣體壽命 10E7 15E6 20E6 20E6 20E6
靜態氣體壽命 15天 60天 90天 >6個月 90天
（50%脈沖能）
重復頻率 60/125/250/500 Hz
脈寬 15-22ns
光束尺寸 10 x 5 mm V x H
穩定性 <2%標準偏差
發散角 0.8 x 1.5 mRad全角度
冷卻 空氣/水
激光管壽命 20億脈沖
電源 100-240 VAC, 15 Amp
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