長壽命EX5D是按照工業激光標準設計的35W高功率,具有緊湊的激光器結構和高達60億次脈沖的壽命。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬8~12ns,重復頻率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高達35W，193nm激光功率高達20W。
長壽命特征
•飽和磁開關
•軟電暈預電離
•無弧放電
•穩定能量輸出
•氣體壽命長
•數十億脈沖
•高功率
•重復頻率高達2000HZ
•多觸發器自動充氣
•低發散
•風冷式
長壽命EX5D規格
工作物質 F2 ArF KrF XeCl XeF
波長nm 157 193 248 308 351
大能量mJ 3 24 40 20 15
平均功率W@250Hz 0.8 6 10 5 4
平均功率W@500Hz 1.5 12 20 10 7
平均功率W@1000 3 24 40 20 15
重復頻率，Hz 250/500/1000/2000
大能量mJ@2000Hz 1.5 10 14 10 7.5
平均功率W@2000Hz 3 20 28 20 15
動態氣體壽命@50%能量 十億脈沖的動態氣體壽命
穩定功率W 2 20 35 15 10
脈寬ns 8-12
光束尺寸mm 3 X 6
穩定性 <2%標準偏差
激光管壽命 20-60億脈沖
發散角mRad全角 0.8 X 1.5
冷卻 空氣/水
窗口服務 1000E6 1000E6 >1000E6 200E6 300E
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。