納米壓印光刻(NIL)
EVG是納米壓印光刻(NIL)設(shè)備和集成工藝的市場供應(yīng)商。 EVG從15年前的研究中并掌握了NIL,并實現(xiàn)了從2英寸化合物半導(dǎo)體晶圓到300 mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產(chǎn)。 NIL是產(chǎn)生納米尺度分辨率圖案的有前途且成本效益的工藝,可用于生物MEMS,微流體,電子學(xué)以及近各種衍射光學(xué)元件的各種商業(yè)應(yīng)用。
UV-NIL /SmartNIL®系統(tǒng)
















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