RUQFHDS系列雙軸平面式氣浮運動臺，采用有限元分析優化的氣浮軸承補償設計技術，提高精度的同時，也提供了動態性能。用于晶圓加工、檢測等行業。
結構優勢
平面式氣浮結構設計，使XY軸運動結構共面，兩軸的反饋機構在同一個水平面，相當于單軸運動，不存在因疊層引起的阿貝誤差，此結構提升了動態跟蹤誤差，高速響應頻率及位置穩定性，開發的氣浮軸承補償方法，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態響應的要求，可實現快速運動和非常快的位置整定。
采用無鐵芯直線電機驅動，實現超平穩運動。交叉解耦控制算法保證雙驅軸的運動同步。同時電機是隔熱的，對于高占空比應用，電機可選水冷或氣冷，盡量避免因電機發熱引起的誤差。
精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保操作。
根據應用，可安裝旋轉臺，擺角臺或晶圓裝卸用的夾具等。可選用激光尺閉環反饋，提升系統精度性能
| 產品型號 | 單位 | RUQFHDS-300-300 | RUQFHDS-400-400 | RUQFHDS-500-500 | |||||||
| 運動軸 | 軸系 | x | y | x | y | x | y | ||||
| 行程 | mm | 300 | 300 | 400 | 400 | 500 | 500 | ||||
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||||||
| 標準值 | ±0.2 | ±0.35 | ±0.35 | ||||||||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
| 標準值 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||||||||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ||||||
| 標準值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||||||||
| 平面度 | Plus值 | ｕm | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ||||||
| 標準值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||||||||
| Ritch/roll/yaw | Plus值 | ARC SEC | ±0.5 | ±1 | ±1 | ||||||
| 標準值 | ±1 | ±1.5 | |||||||||
| 正交性 | Plus值 | ARC SEC | 2 | ||||||||
| 標準值 | 5 | ||||||||||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | |||||||||
| 速度 | m/s | 1 | |||||||||
| 加速度 | m/s | 5，（10，20，30）定制 | |||||||||
| 負載 | Kg | 20 | |||||||||
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