產品特點：
1.閉式氣浮軸承結構
2.高軸向和徑向剛度
3.低噪音結構設計
4.直驅零齒槽效應
5.跳動誤差200nm
6.高速度穩定性
RUQFR-N系列是高性價比的氣浮轉臺，高定位精度、高速度穩定性和200nm跳動誤差，有效載荷能力和出色的徑向和軸向剛度產品滿足晶圓檢測、生物檢測、高精度計量、光學檢測和制造以及MEMS/納米技術設備制造等行業。
對RUQFR-N系列氣浮轉臺進行了優化設計，大型空氣軸承表面和創新的預壓高剛度，承載能力大，可側向放置使用。較低的軸向和徑向誤差運動，突出的傾角誤差運動，以及由此產生的性能明顯優于其它旋轉空氣軸承表和主軸，大大有利于要求特殊平面性能的應用。
RUQFR-N系列采用無刷直驅電機驅動，電機的磁路設計，產生高轉矩輸出和低熱量產生，零齒槽效應和無扭矩紋波，使得氣浮轉臺在低速或高速時平滑轉動。
氣浮轉臺圓光柵閉環反饋，運用國際上的驅動控制器，分辨率達0.01角秒，重復定位精度≤1arc sec。
圓光柵尺可選增量式或Absolute encoder。
氣浮轉臺可定制滑環或氣路接頭，滿足高速度穩定性或高精度慣性導航測試的應用。
由于氣浮轉臺徑向剛度大，可定制成AC軸，滿足曲面微加工或測試的應用。
1.閉式氣浮軸承結構
2.高軸向和徑向剛度
3.低噪音結構設計
4.直驅零齒槽效應
5.跳動誤差200nm
6.高速度穩定性
RUQFR-N系列是高性價比的氣浮轉臺，高定位精度、高速度穩定性和200nm跳動誤差，有效載荷能力和出色的徑向和軸向剛度產品滿足晶圓檢測、生物檢測、高精度計量、光學檢測和制造以及MEMS/納米技術設備制造等行業。
對RUQFR-N系列氣浮轉臺進行了優化設計，大型空氣軸承表面和創新的預壓高剛度，承載能力大，可側向放置使用。較低的軸向和徑向誤差運動，突出的傾角誤差運動，以及由此產生的性能明顯優于其它旋轉空氣軸承表和主軸，大大有利于要求特殊平面性能的應用。
RUQFR-N系列采用無刷直驅電機驅動，電機的磁路設計，產生高轉矩輸出和低熱量產生，零齒槽效應和無扭矩紋波，使得氣浮轉臺在低速或高速時平滑轉動。
氣浮轉臺圓光柵閉環反饋，運用國際上的驅動控制器，分辨率達0.01角秒，重復定位精度≤1arc sec。
圓光柵尺可選增量式或Absolute encoder。
氣浮轉臺可定制滑環或氣路接頭，滿足高速度穩定性或高精度慣性導航測試的應用。
由于氣浮轉臺徑向剛度大，可定制成AC軸，滿足曲面微加工或測試的應用。
| 型號 | RUQFR-N150 | RUQFR-N200 | RUQFR-N300 | ||
| 行程 | 360° | ||||
| 臺面直徑 | φ70 mm | φ140 mm | φ240 mm | ||
| 驅動方式 | 直驅力矩電機 | ||||
| 定位精度 | ±2 arc sec | ||||
| 雙向重復精度 | ＜ 1 arc sec | ||||
| 同步軸向跳動 | 200 nm | ||||
| 同步徑向跳動 | 200 nm | ||||
| 電子分辨率 | 0.01 arc sec | ||||
| 速度 (空載) | 300 rpm | ||||
| 軸向負載 | 20 Kg | 40 Kg | 70 Kg | ||
| 型號 | A | B | C | D | E | F | G |
| RUQFR-N150 | 180 | 150 | 110 | 120 | φ70 | φ30 | φ55 |
| RUQFR-N200 | 231 | 200 | 110 | 165 | φ115 | φ50 | φ90 |
| RUQFR-N300 | 295 | 300 | 110 | 225 | φ240 | φ90 | φ19 |
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