設計特點
采用無鐵芯電機，非常適合要求高精度的需求，其不會與磁鐵發生不良反應，在低速運行時也能保持平穩，在高速狀態系也不會產生振動，底軸步進軸采用雙直驅結構，加速度大、推力高，上軸掃描軸為單直線電機。
配置滾柱軸承摩擦式導軌，承重大、精度高、剛性好等特點，使加速度達3g,可實現速度1m/s高速運行。
非接觸式光柵閉環反饋，優化考慮熱膨脹的設計，這種緊湊是結構設計，在有限的空間內具有魯棒性和準確度，獲得重復定位精度±1μm，這種緊湊結構非常適合基于掃描原理的應用。Z軸采用直驅結構驅動，滾柱滑塊導軌，低摩擦氣缸配重。
定制化設計
基座可選大理石或鋁合金材質，工作高度可調節；導軌可選滾珠摩擦導軌或非接觸式氣浮導軌；可安裝旋轉臺，提供隔振系統等作為整套交鑰匙工程。
| 產品型號 | 單位 | RURBLM-300-300-100 | RURBLM-500-500-150 | RURBLM-1000-1000-200 | ||||||||
| 運動軸 | 軸系 | X | Y | Z | x | y | Z | X | Y | Z | ||
| 行程 | mm | 300 | 300 | 100 | 500 | 500 | 150 | 1000 | 1000 | 200 | ||
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±1 | ±0.75 | ±0.45 | ±0.25 | ±0.75 | ±4 | ±1 | |||
| 標準值 | ±3 | ±1.5 | ±0.5 | ±0.3 | ±1.5 | ±5 | ±2 | |||||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.5 | ±0.25 | ±0.2 | ±0.15 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.25 | |||
| 標準值 | ±1 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.1 | ±0.3 | |||||
| 電子分辨率 | nm | 0.3或5（選配） | ||||||||||
| 速度 | m/s | 1 | 0.1 | 1 | 0.15 | 1 | 0.2 | |||||
| 加速度 | m/s² | 5，（10，20,30）定制 | ||||||||||
| 負載 | Kg | 15 | ||||||||||
| 正交性 | Plus值 | arc sec | ≤5 | |||||||||
| 標準值 | ≤10 | |||||||||||
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